臭氧法指的是一种对废水进行净化和消毒处理的方法，臭氧自身具有很强的氧化才能，因此在环境保护和化工等方面被广泛应用，在废液处理中臭氧相同也能发挥不小的效果。
臭氧起初是用来对自来水进行消毒的，但是跟着工业化的高速发展，臭氧逐步被应用到污水、工业废水处理中去。到了70年代，臭氧氧化法和活性炭等处理技能相结合，逐步成为污水高档处理和饮用水除掉化学污染物的首要手段之一。
工艺技能：用臭氧氧化法处理废水所运用的是含低浓度臭氧的气体。臭氧是一种不稳定、易分化的强氧化剂，因此需要现场制作。臭氧氧化法水处理的工艺设施首要由臭氧发生器和气水触摸设备组成。现在大规模生产臭氧的唯一方法是无声放电法。制作臭氧的质料气是空气或氧气。质料气必须通过除油、除湿、除尘等净化处理，否则会影响臭氧产率和设备的正常运用。用空气制成臭氧的浓度一般为10～20毫克／升；用氧气制成臭氧的浓度为20～40毫克／升。这种含有1～4％(重量比)臭氧的空气或氧气便是水处理时所运用的臭氧化气。
臭氧发生器所发生的臭氧，通过气水触摸设备分散于待处理水中，通常是选用微孔分散器、鼓泡塔或喷射器、涡轮混合器等。臭氧的利用率要力求到达90％以上，剩下臭氧随尾气外排，为防止污染空气，尾气可用活性炭或霍加拉特剂催化分化，也可用催化焚烧法使臭氧分化。
